전기전도도, 고형 미립자수, 생균수, 유기물 등을 극히 낮은 값으로 억제한 순수한 물을 말한다.

초순수에서는 미립자가 직경 0.1㎛ 이하의 것이 20개/㎤ 이하, 생균은 100㎤당 1개 이하 등의 제한치가 있으며

이론적으로 18.2MΩ·cm의 비저항을 갖는 물임  초순수는 증류, 이온교환, 역침투 등을 조합하여 만들며

반도체나 전자기기의 제조, 의약품 제조, 식품 제조, 화력 또는 원자력발전소,화장품,밧데리충전용 등

다양한 산업 공정에 광범위하게 사용되고 있다.